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真空鍍膜設備廠家分享監測方法

發布時間:2020.03.03 瀏覽次數:
   
真空鍍膜設備是有著很多監測手段的,這可以讓真空鍍膜設備在工作的時候,可以實時監測到真空鍍膜設備的工作狀態,下面真空鍍膜設備廠家分享監測方法。

1、極值監控法:當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監控波長(入)的四分之一的整倍數。但是極值的方法誤差比較大,因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
2.水晶振蕩監控:利用石英晶體振動頻率與其質量成反比的原理工作的。但是石英監控有一個不好之處就是當膜厚增加到一定厚度后,振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系,此時必須使用新的石英振蕩片。
3、目視監控:使用眼睛監控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現象會有顏色變化,我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準確,需要依靠經驗。
4.定值監控法:此方法利用停鍍點不在監控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。

看了上面的上面的內容,相信大家都已經知道真空鍍膜設備的監測方法了。


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